超耐熱ガラスのサファイヤガラス
耐熱ガラス（耐熱ガラスとして、サファイアガラスがどの様に優れているか）
一般的に「耐熱ガラス」と言われて、耐熱認証マークが付いて保障されている
耐熱温度は、１２０℃ですし、またガラスの溶融点は最高７８０℃です。
これに比較して、サファイアガラスは、下記の表からも明らかな様に、耐熱の
根源である「熱伝導率」がガラスに比較して、数十倍優れていることや、物理的
な圧縮強度もガラスに比較して、数段優れていることで、光透過物その物の厚
さを薄くすることが
できる点などから、耐熱特性には非常に好条件がそろった
素材と言えるのです。
また、半導体プロセスの使用条件や、ルツボや圧力センサー等の使用条件、
そしてサファイアガラス基板上への蒸着条件等々・・・を見ても、ガラス使用時
代では考えられない超高温での作業環境が実現しています。
●サファイアガラス使用例
圧力センサー 耐熱温度上限 300℃ 実験 500℃ OK
半導体プロセスガスの多様化で耐高温・耐腐食性が必要
弗化水素・硫酸・硝酸・塩酸 300℃の高温にも耐える。殆ど腐食もされない。
金属の融液 Mg Cr Co Ni Na K Bi Zn Cs 800～1000℃でも OK
サファイアガラス管・ルツボなどは、1850℃でも常用可能
UV殺菌・プラズマエッチング・高圧力測定に適材
サファイア基板上への蒸着は 1500℃でも OK （耐熱性・科学的安定性）
（日本硝子製品工業会「耐熱認証マーク」付き耐熱ガラスの
認証温度 １２０℃以上）