耐薬品性容器として
サファイアガラスの耐薬品性容器としての使い方です。
耐薬品性
(サファイアガラスは耐薬品性容器としてどのように強いのか)
サファイアガラスは、当初、硬くキズが付きにくい・耐熱性がある・透明性が高い等 の特性が買われて宝飾の世界から、工業製品・部品の世界に広がってきました。
それが、使うほどに、より多くのすばらしい特性に出会い、実用化されて行き、現在に 至ったわけですが、耐薬品性についても、例外ではありません。
私の手元にある実用例を下記しましたが、種々の製造プロセスで活用され変革して 行く状況が伺われます。
1)サファイアガラス耐薬品性試験例
(サファイア試料サイズ /㎡)
溶剤 |
条件(浸漬) |
結果 |
||
塩酸 |
35% 20℃ 6days |
溶解重量変化なし |
||
硝酸 |
50% 20℃ 6days |
溶解重量変化なし |
||
燐酸 |
60% 100℃ 6days |
溶解重量変化なし |
||
硫酸 |
95% 100℃ 6days |
溶解重量変化なし |
||
カセイソーダ |
30% 100℃ 6days |
溶解重量変化なし |
||
フッ化水素 |
46% 60℃ 6days |
重量変化微小 (△=0.0038g) |
||
※参考 石英ガラスは、上記全ての薬品で重量変化が認められる。
2)半導体プロセスガスの多様化で耐高温・耐腐食性が必要
フッ化水素・硫酸・硝酸・塩酸 300℃の高温にも耐える。殆ど腐食もされない。 金属の融液 Mg Cr Co Ni Na K Bi Zn Cs 800~1000℃でも OK
3)サファイア基板上への蒸着は 1500℃でも OK
(耐熱性・科学的安定性 強い)